Основы эллипсометрии / Ржанов А.В., Свиташев К.К., Семененко А.И., Семененко А.И., Соколов В.К. (Новосибирск: Наука, 1979) - ОГЛАВЛЕНИЕ
 Навигация
 
А.В.Ржанов
Основы эллипсометрии / Ржанов А.В. (отв. ред.), Свиташев К.К. и др. (Новосибирск: Наука, 1979. - 422 с.)
 
   Оглавление книгиИсточник

 Предисловие ..................................................... 3

 Глава I. Основные определения ................................... 7
   § 1. Распространение плоской монохроматической
 электромагнитной волны в вакууме. Состояния поляризации.
 Комплексные амплитуды ........................................... 8
   § 2. Распространение плоской монохроматической
 электромагнитной волны в однородной изотропной среде.
 Комплексный показатель преломления. Комплексная
 диэлектрическая проницаемость .................................. 28
   § 3. Распространение плоской монохроматической
 электромагнитной волны в однородной анизотропной среде.
 Кристаллический компенсатор. Кристаллический поляризатор ....... 36
   § 4. Основное уравнение эллипсометрии для изотропной
 отражающей системы ............................................. 46

 Глава II. Эллипсометрия на основе простейших моделей.
           Теория ............................................... 52

   § 1. Расчет относительного коэффициента отражения и
 основное уравнение эллипсометрии для системы однородная
 изотропная подложка - однородная изотропная пленка. Приближения
 Друде - Арчера и Саксены. Атомарно-чистая поверхность .......... 53
   § 2. Основное уравнение эллипсометрии для системы
 однородная изотропная подложка - изотропная
 двухслойная пленка ............................................. 67
   § 3. Классификация методов экспериментального
 определения поляризационных углов. Принципиальные схемы
 эллипсометра. Измерительные зоны ............................... 69
   § 4. Изменение состояния поляризации электромагнитной
 волны в процессе прохождения отдельных элементов оптической
 системы эллипсометра ........................................... 76
   § 5. Нулевые методы экспериментального определения
 поляризационных углов. Рабочие формулы ......................... 94

 Глава III. Эллипсометрия на основе простейших моделей.
            Эксперимент ........................................ 104

   § 1. Приборы для эллипсометрических исследований ............ 104
   § 2. Методы юстировки эллипсометра. Построение
 измерительных зон ............................................. 116
   § 3. Точность метода эллипсометрии .......................... 132
   § 4. Измерение параметров тонких однослойных
 диэлектрических пленок на полупроводниковых
 подложках эллипсометрическим методом .......................... 154
   § 5. Измерение параметров тонких двухслойных диэлектрических
 пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим
 методом ....................................................... 158
   § 6. Эллипсометрия поглощающих пленок ....................... 166
   § 7. Эллипсометрия в далекой инфракрасной области спектра ... 172

 Глава IV. Элементы общей теории взаимодействия
           квазимонохроматического пучка света с линейными
           оптическими системами эллипсометра. Интенсивность
           рабочего, светового пучка на выходе эллипсометра .... 176

   § 1. Общее выражение для интенсивности рабочего светового
 пучка на выходе эллипсометра .................................. 176
        Описание состояния поляризации квазимонохроматического
          пучка света. Параметры Стокса ........................ 176
        Преобразование квазимонохроматического пучка света
          при помощи линейной оптической системы ............... 183
        Матрицы Мюллера для основных элементов оптическей
          схемы эллипсометра ................................... 188
        Полные матрицы Мюллера для трех основных схем
          эллипсометра. Зависимость интенсивности света на
          выходе эллипсометра от параметров отражающей системы
          и углов поворота поляризатора, анализатора и
          компенсатора ......................................... 194
   § 2. Об автоматизации нулевых методов определения
 поля ризационных углов ........................................ 197
   § 3. Ненулевые методы определения поляризационных углов
 Δ и φ ......................................................... 200
   § 4. О предельной чувствительности метода эллипсометрии ..... 201

 Глава V. Матричный метод расчета амплитудных коэффициентов
          отражения и пропускания для многослойных отражающих
          систем ............................................... 211

   § 1. Матричный метод расчета амплитудных коэффициентов
 отражения и пропускания для изотропных многослойных отражающих
 систем ........................................................ 211
   § 2. Основное уравнение эллипсометрии для некоторых типов
 изотропных отражающих систем .................................. 226
        Основное уравнение эллипсометрии для системы подложка
          - переходный слой - два однородный слоя - переходный
          слой ................................................. 226
        Основное уравнение эллипсометрии дли системы подложка
          - переходный слой - однородный слой - переходный слой  231
   § 3. Матричный метод расчета амплитудных коэффициентов
 отражения и пропускания для анизотропных многослой
 ных отражающих систем ......................................... 232
   § 4. Матрицы Джонса для основных оптических элементов
 эллипсометра .................................................. 244

 Глава VI. Методы экспериментального определения
           поляризационных углов изотропных отражающих систем.
           Инварианты эллипсометрии ............................ 257

   § 1. Нулевые методы экспериментального определения
 поляризационных углов изотропных отражающих систем ............ 257
   § 2. Инварианты эллипсометрии ............................... 266
   § 3. Однозонная методика эллипсометрических измерений.
 Анализ параметров компенсатора ................................ 272
   § 4. Метод точной юстировки на основе инвариантов эллип
 сометрии  ..................................................... 286

 Глава VII. Эллипсометрия анизотропных слоистых сред ........... 290

   § 1. Система основных уравнений эллипсометрии для
 анизотропных отражающих систем ................................ 290
   § 2. Эллипсометрическое исследование некоторых общих
 свойств анизотропных сред  .................................... 291
   § 3. Нулевые методы экспериментального определения
 поляризационных углов анизотропных слоистых сред. Обобщенные
 измерительные зоны. Инварианты эллипсометрии .................. 296
   § 4. Обнаружение слабой анизотропии методом
 эллипсометрии ................................................. 306

 Глава VIII. Эллипсометрия на основе реального пучка света ..... 310

   § 1. Постановка задачи. Обобщенные поляризационные углы ..... 310
   § 2. Эллипсометрия на основе немонохроматического пучка света 314
   § 3. Эллипсометрия на основе сходящегося пучка света
 Общий подход  ................................................. 322
   § 4. Эллипсометрия на основе сходящегося и
 немонохроматического светового пучка. Общий подход ............ 330

 Глава IX. Экспериментальное эллипсометрическое
           исследование сложных отражающих систем .............. 331

   § 1. Эллипсометрические измерения более чем двух
 параметров отражающих систем .................................. 331
   § 2. Эллипсометрические измерения на шероховатых
 поверхностях .................................................. 338
   § 3. Эллипсометрия неоднородных диэлектрических пленок
 на полупроводниковых подложках ................................ 343
   § 4. Определение толщины диэлектрических пленок
 эллипсометрическим методом с использованием
 немонохроматического источника излучения ...................... 350
   § 5. К вопросу об измерении толщины эпитаксиальных
 пленок на полупроводниковых подложках методом эллипсометрии
 в далекой инфракрасной области спектра ........................ 353

 Заключение .................................................... 361
 Приложение. Об оптических и электрооптических свойствах
    границы раздела сред (С.Ф.Тимашев, М.А.Крыкин) ............. 364
 Библиографический обзор по эллипсометрии и некоторым смежным
    вопросам (1950-1976 гг.) ................................... 377


вверхОсновы эллипсометрии / Ржанов А.В. (отв. ред.), Свиташев К.К., Семененко А.И., Семененко А.И., Соколов В.К.; Ин-т физики полупроводников СО АН СССР. - Новосибирск: Наука, 1979. - 422 с. - Библиогр.: 875 назв. || Шифр: В34-О.753 НО
 

Научные школы ННЦ А.В.Ржанов | Указатель трудовПодготовили Виктория Лукьянова и Сергей Канн  
 


[Начало | О библиотеке | Академгородок | Новости | Выставки | Ресурсы | Партнеры | ИнфоЛоция | Поиск | English]
В 2004-2006 гг. проект поддерживался грантом РФФИ N 04-07-90121
 
© 2004-2020 Отделение ГПНТБ СО РАН (Новосибирск)
Статистика доступов: архив | текущая статистика

Документ изменен: Wed Feb 27 14:56:12 2019. Размер: 18,678 bytes.
Посещение N 3848 с 14.02.2007