242.
(11) 2120680
(46) 20.10.98
(51) 6 Н 01 J 37/317,
С 23 С 14/48
(21) 96115679/09
(22) 29.07.96
(71) Институт ядерной физики СО РАН
(72) Волосов В. И., Чуркин И. Н.
(73) Институт ядерной физики СО РАН
(54) СПОСОБ ИМПЛАНТАЦИИ ЧАСТИЦ В ТВЕРДОЕ ТЕЛО
(57) Изобретение относится к технической физике и может быть использовано в любой отрасли для улучшения электрофизических, химических и механических свойств поверхности изделий. Техническим результатом является снижение энергии иона для улучшения энергетических параметров способа и улучшения качества обрабатываемых поверхностей. В способе имплантации тяжелых атомов в твердое тело тяжелые атомы ускоряют до энергии 0,3-10 кэВ и внедряют в твердое тело при плотности потока не менее 2 · 10 15 частиц/см 2 с.
|
|
