241.
(11) 2110110
(46) 27.04.98
(51) 6 Н 01 J 37/317,
С 23 С 14/48
(21) 96115681/09
(22) 29.07.96
(71) Институт ядерной физики СО РАН
(72) Волосов В. И., Чуркин И. Н.
(73) Институт ядерной физики СО РАН
(54) УСТАНОВКА ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ
(57) Изобретение относится к радиационному материаловедению и предназначено для улучшения электрофизических, химических и механических свойств поверхности изделий из различных материалов. Установка для имплантации обеспечивает повышение производительности, чистоты получаемых имплантируемых потоков, повышение площади имплантируемых поверхностей без применения сканирующих устройств и повышение универсальности. Установка характеризуется использованием источника быстрых тяжелых атомов на основе магнитной ловушки с вращающейся плазмой, системы транспортировки потоков быстрых тяжелых атомов веерного типа, представляющей собой выпускной раструб с азимутальным размером 360o, системы размещения облучаемых образцов в области выходящего потока. 2 ил.
|
|
