226.
(11) 2118830
(46) 10.09.98
(51) 6 G 01 R 29/12
(21) 96103753/09
(22) 26.02.96
(71) Институт солнечно-земной физики СО РАН
(72) Кошилев Н. А, Демьянович Л. Б., Лебедев Н. В., Симонов В. Г., Шишко А А.
(73) Институт солнечно-земной физики СО РАН
(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА НА ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ОБРАЗЦОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
(57) Способ относится к физике, в частности к методам измерения электрического потенциала на поверхности диэлектрических образцов, и включает получение вблизи поверхности образца низкоэнергичных электронов, ускорение полученных электронов в электростатическом поле образца и измерение энергии ускоренных электронов, при этом для определения распределения электрического потенциала на исследуемой части образца строят изображение образца в лучах ускоренных в электростатическом поле образца электронов и измеряют энергию этих электронов в каждой точке изображения. Способ осуществляется с помощью устройства, состоящего из источника низкоэнергичных вблизи поверхности электронов, анализатора энергии этих электронов после ускорения в электростатическом поле образца, на входе которого размещено устройство переноса изображения, а регистратор частиц выполнен из элементов, образующих двумерную поверхность. Технический результат заключается в измерении величины потенциала на поверхности образца одновременно в нескольких точках 2 с. и. ф-лы, 2 ил.
|
|
