214. (11) 2107903 (46) 27.03.98
(51) 6 G 01 N 21/21, G 01 В 11/24
(21) 96108475/25 (22) 23.04.96
(71) Институт солнечно-земной физики СО РАН
(72) Скоморовский В. И.
(73) Институт солнечно-земной физики СО РАН
(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ
(57) Область применения: оптико-механическая промышленность, станкостроение-контроль оптической полировки поверхностей деталей из прозрачных материалов, металлов, пластмасс с любым коэффициентом отражения. Сущность изобретения: прозрачное пробное стекло, наложенное на контролируемую поверхность, освещают источником рассеянного света. Падающий на пробное стекло свет поляризуют под углом 45o к плоскости падения, а угол падения устанавливают в пределах 20-50o . Интерференционные полосы между контролируемой и эталонной поверхностями наблюдают и оценивают через анализатор поляризации. 2 ил.
|
|