298.
(11) 2082085
(46) 20.06.97
(51) 6 G 01 B 21/00
(21) 94015048/28
(22) 22.04.94
(71) Институт лазерной физики СО РАН
(72) Багаев С. Н., Орлов В. А., Рыбушкин А. Ю., Семибаламут В. М., Фомин Ю. Н.
(73) Институт лазерной физики СО РАН
(54) ДВУХЧАСТОТНАЯ ЛАЗЕРНАЯ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
(57) Изобретение относится к измерительной технике. Техническим результатом использования изобретения является повышение чувствительности измерения линейных перемещений на больших расстояниях за счет устранения влияния воздушной среды в протяженном измерительном плече системы и частотной нестабильности лазерного излучения. Результат достигается тем, что интерферометрическая система содержит лазеры 1 и 2 с различными частотами, измерительное плечо, образованное концевым уголковым отражателем 3 и оптическим смесителем из зеркал 4 и 5, опорное стабильное оптическое плечо длиной от 0,3 до 2 м, образованное вторым уголковым отражателем 14 и оптическим смесителем, состоящим из зеркал 15 и 16, второй смеситель, из зеркал 6 и 7, служащий для стабилизации разности частот световых потоков, посредством блоков 11 частотно-фазовой автоматической подстройки. На выходе смесителей совмещенные световые потоки детектируются фотоприемниками 8,9,17, сигналы с них поступают на первый реверсивный счетчик 10, который регистрирует фазовый сигнал, содержащий суммарную информацию о перемещении объекта и изменении длины волны излучения в воздушной среде. Сигналы с фотоприемников 9 и 17 поступают на второй реверсивный счетчик 8, который регистрирует фазовый сигнал, связанный только с изменением длины волны излучения в воздухе. Сигналы от обоих реверсивных счетчиков 8 и 10 анализируются электронным блоком 19 вычитания. 3 ил.
|
