216.
(11) 2082821
(46) 27.06.97
(51) 6 С 23 С 16/04
(21) 3201540/02
(22) 10.06.88
(71) Научно-производственное объединение "Астрофизика", Институт неорганической химии СО АН СССР
(72) Алексеев В. А, Быков А. Ф., Гельфонд Н. В., Дробот А Д., Земсков С. В., Игуменов И. К., Исакова В. Г., Филин С. А, Ямпольский В. И.
(73) Обособленное научно-исследовательское подразделение по солнечной и точной оптике "СОЛТО" при Научно-производственном объединении "Астрофизика"
(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИРИДИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ
(57) Изобретение относится к области химии, связанной с получением покрытий из тугоплавких металлов химической кристаллизацией из газовой фазы, в частности, для защиты конструкционных материалов от коррозии, и может быть использовано в области квантовой электроники, например для создания оптических элементов мощных лазеров. Способ получения иридиевых покрытий включает разложение на нагретой подложке паров трис-ацетилацетоната иридия, подаваемых к подложке в смеси с нагретым инертным газом, при этом процесс осуществляют при температуре подложки 300-330oС и введении в парогазовую смесь 4-25 об. % кислорода при нагреве инертного газа до 160-210oС. 1 ил.. 1 табл.
|
