117.
(11) 2076065
(46) 27.03.97
(51) 6 С 01 В 33/06
(21) 94023871/26
(22) 24.06.94
(71) Институт химии твердого тела и переработки минерального сырья
(72) Беляев Е. Ю., Голубкова Г. В., Ломовский О. И.
(73) Институт химии твердого тела и переработки минерального сырья
(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИЛИЦИДОВ ТУГОПЛАВКОГО МЕТАЛЛА
(57) Изобретение относится к порошковой металлургии и электронной промышленности и может быть использовано при изготовлении из силицидов тугоплавких металлов деталей, изделий методами порошковой металлургии, при нанесении защитных покрытий и для изготовления токопроводящих и резистивных элементов интегральных схем. Цель изобретения-получение монофазных дисилицидов тугоплавких металлов ( Ме = Мо, W, Та, Тi, Fе) в порошкообразном состоянии, при упрощении способа получения, ускорении процесса синтеза и расширении концентрационной области образования монофазных дисилицидов металлов. Смесь порошков кремния и соответствующего металла (Ме = Мо, W, Та, Тi, Fе) с соотношением компонентов: металл - 23,0-38,0 ат. % и кремний - 62,0-77,0 ат. % подвергают обработке в механохимическом реакторе в течении 20 - 40 мин при центробежном ускорении мелющих тел 400 - 1000 м/с2 и степени заполнения реактора мелющими телами от 0,3 до 0,6 от объема реактора. 6 табл.
|
