Введение ........................................................ 5
1  История развития и технологические основы электроники ........ 6
   1.1  Основные технологии производства изделий электроники .... 6
   1.2  Этапы развития вакуумной электроники .................... 7
   1.3  Этапы развития твердотельной электроники ................ 8
   1.4  История развития радиотехники и радиоэлектроники ....... 10
   1.5  Этапы развития микроэлектроники ........................ 12
   1.6  История развития оптоэлектроиики ....................... 13
   1.7  Этапы развития нанотехнологий .......................... 18
2  Тины и свойства химических элементов и соединений,
   используемых в электронике .................................. 26
   2.1  Строение твердых тел ................................... 28
   2.2  Химическая связь и типы кристаллов ..................... 35
   2.3  Кремний ................................................ 39
   2.4  Германии ............................................... 40
   2.5  Арсенид галлия ......................................... 41
   2.7  Металлические пленки ................................... 43
   2.8  Диэлектрические пленки ................................. 45
   2.9  Органические материалы ................................. 46
   2.10 Углерод и наноуглерод .................................. 47
   2.11 Графен ................................................. 61
   2.12 Депдримеры ............................................. 64
   2.13 Сегпетоэлектрики ....................................... 67
   2.14 Элекгроактивные полимеры ............................... 68
   2.15 Жидкие кристаллы ....................................... 70
   2.16 Прямозонные и непрямозонные полупроводники ............. 73
3  Технологические основы микроэлектроники ..................... 78
   3.1  Введение ............................................... 78
   3.2  Понятие о групповом методе изготовления электронных
        приборов ............................................... 78
   3.3  Планерная технология ................................... 79
   3.4  Пленочная и гибридная технология ....................... 79
   3.5  Полупроводниковая технология ........................... 81
   3.6  Метод Чохральского ..................................... 82
   3.7  Диффузия ............................................... 83
   3.8  Ионное легирование ..................................... 92
   3.9  Иоино-плазмеиное напыление.............................. 94
   3.10 Термическое напыление .................................. 95
   3.11 Классическая литография ................................ 98
4  Виды технологий, перспективные 	для производства
   наноэлектронных изделий .................................... 101
   4.1  Введение .............................................. 101
   4.2  Кремниевая нанотехнология и ее изделия ................ 102
   4.3  Углеродная нанотехнология и ее изделия ................ 107
   4.4  Жидкокристаллическая технология и ее изделия .......... 118
   4.5  OLED технология и ее изделия .......................... 137
   4.6  Квантовая нанотехнология и ее изделия ................. 149
   4.7  Молекулярная технология и направления ее развития ..... 152
   4.8  Наиобнотехнология и перспективы ее развития ........... 159
   4.9  Напопсихология - новое направление психологии ......... 169
5  Технологические основы наноэлектроники ..................... 172
   5.1  Введение и паиотехнологаи ............................. 172
   5.2  Литография ............................................ 173
   5.3  Молекулярио - лучевая эпитаксия ....................... 182
6  Нанотехпологическое оборудование ........................... 187
   6.1  Введение .............................................. 187
   6.2  Напотехнологические комплексы 11А.НОФАБ ............... 187
   6.3  Установка эпитаксиалыюго наращивания слоев	для
        индивидуальной обработки подложек большого диаметра ... 190
   6.4  Установки молекулнрно-пучковой эгогтакенн ............. 192
   6.5  Оборудование для наноструктурного анализа
        материалов и покрытий ................................. 194
   6.6  Нанотехлологический комплекс оборудования
        NanoEducator .......................................... 194

Список литературы ............................................. 206