Игнатов А.Н. Химико-технологические основы микро- и нанотехники: учеб. пособие (Новосибирск, 2011) - ОГЛАВЛЕНИЕ
Навигация
ОбложкаИгнатов А.Н. Химико-технологические основы микро- и нанотехники: учеб. пособие / А.Н.Игнатов, И.В.Решетнева. - Новосибирск: СибГУТИ, 2011. - 211 с.
ШИФР ОТДЕЛЕНИЯ ГПНТБ СО РАН     З 84-И265
Оглавление книги
Введение ........................................................ 5
1  История развития и технологические основы электроники ........ 6
   1.1  Основные технологии производства изделий электроники .... 6
   1.2  Этапы развития вакуумной электроники .................... 7
   1.3  Этапы развития твердотельной электроники ................ 8
   1.4  История развития радиотехники и радиоэлектроники ....... 10
   1.5  Этапы развития микроэлектроники ........................ 12
   1.6  История развития оптоэлектроиики ....................... 13
   1.7  Этапы развития нанотехнологий .......................... 18
2  Тины и свойства химических элементов и соединений,
   используемых в электронике .................................. 26
   2.1  Строение твердых тел ................................... 28
   2.2  Химическая связь и типы кристаллов ..................... 35
   2.3  Кремний ................................................ 39
   2.4  Германии ............................................... 40
   2.5  Арсенид галлия ......................................... 41
   2.7  Металлические пленки ................................... 43
   2.8  Диэлектрические пленки ................................. 45
   2.9  Органические материалы ................................. 46
   2.10 Углерод и наноуглерод .................................. 47
   2.11 Графен ................................................. 61
   2.12 Депдримеры ............................................. 64
   2.13 Сегпетоэлектрики ....................................... 67
   2.14 Элекгроактивные полимеры ............................... 68
   2.15 Жидкие кристаллы ....................................... 70
   2.16 Прямозонные и непрямозонные полупроводники ............. 73
3  Технологические основы микроэлектроники ..................... 78
   3.1  Введение ............................................... 78
   3.2  Понятие о групповом методе изготовления электронных
        приборов ............................................... 78
   3.3  Планерная технология ................................... 79
   3.4  Пленочная и гибридная технология ....................... 79
   3.5  Полупроводниковая технология ........................... 81
   3.6  Метод Чохральского ..................................... 82
   3.7  Диффузия ............................................... 83
   3.8  Ионное легирование ..................................... 92
   3.9  Иоино-плазмеиное напыление.............................. 94
   3.10 Термическое напыление .................................. 95
   3.11 Классическая литография ................................ 98
4  Виды технологий, перспективные 	для производства
   наноэлектронных изделий .................................... 101
   4.1  Введение .............................................. 101
   4.2  Кремниевая нанотехнология и ее изделия ................ 102
   4.3  Углеродная нанотехнология и ее изделия ................ 107
   4.4  Жидкокристаллическая технология и ее изделия .......... 118
   4.5  OLED технология и ее изделия .......................... 137
   4.6  Квантовая нанотехнология и ее изделия ................. 149
   4.7  Молекулярная технология и направления ее развития ..... 152
   4.8  Наиобнотехнология и перспективы ее развития ........... 159
   4.9  Напопсихология - новое направление психологии ......... 169
5  Технологические основы наноэлектроники ..................... 172
   5.1  Введение и паиотехнологаи ............................. 172
   5.2  Литография ............................................ 173
   5.3  Молекулярио - лучевая эпитаксия ....................... 182
6  Нанотехпологическое оборудование ........................... 187
   6.1  Введение .............................................. 187
   6.2  Напотехнологические комплексы 11А.НОФАБ ............... 187
   6.3  Установка эпитаксиалыюго наращивания слоев	для
        индивидуальной обработки подложек большого диаметра ... 190
   6.4  Установки молекулнрно-пучковой эгогтакенн ............. 192
   6.5  Оборудование для наноструктурного анализа
        материалов и покрытий ................................. 194
   6.6  Нанотехлологический комплекс оборудования
        NanoEducator .......................................... 194

Список литературы ............................................. 206

Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование.
Для студентов всех форм обучения по направлениям: 210100 -"Электроника и наноэлектроника", 210400 - "Телекоммуникации", 210600 -"Нанотехнологий", 210700 - "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 211000 - "Конструирование и технология электронных средств".


Архив поступлений новой литературы | Отечественные поступления | Иностранные поступления
 

[О библиотеке | Академгородок | Новости | Выставки | Ресурсы | Библиография | Партнеры | ИнфоЛоция | Поиск]
  Пожелания и письма: branch@gpntbsib.ru
© 1997-2024 Отделение ГПНТБ СО РАН (Новосибирск)
Статистика доступов: архив | текущая статистика
 

Документ изменен: Wed Feb 27 14:27:42 2019 Размер: 10,998 bytes.
Посещение N 1486 c 07.07.2015